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雷尼紹激光干涉儀XL-80

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標(biāo)準(zhǔn)的XL-80激光干涉儀可以高達(dá)50kHz的頻率采集動(dòng)態(tài)數(shù)據(jù)。QuickViewXL軟件包簡(jiǎn)單易用,有直觀的界面,能夠記錄、查看和保存動(dòng)態(tài)數(shù)據(jù)。

系統(tǒng)性能

zui高移動(dòng)速度

4m/s*

動(dòng)態(tài)采集頻率

10Hz-50kHz**

預(yù)熱時(shí)間

<6分鐘

指定精度范圍

0°C-40°C

環(huán)境傳感器

范圍

精度

材料溫度

0°C-55°C

±0.1°C

>

空氣溫度

0°C-40°C

±0.2°C

氣壓

650毫巴-1150毫巴

±1毫巴

相對(duì)濕度(%)

0%-95%非冷凝

±6%相對(duì)濕度

*1.6m/s(80nm正交);0.2m/s(10nm正交)

**20MHz,正交模式

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