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蜂窩隔振光學(xué)平臺 精密光學(xué)平臺

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蜂窩結(jié)構(gòu)隔振平臺臺板或超導(dǎo)磁隔振平臺臺板,臺板強度高,穩(wěn)定可靠;隔振器采用擺桿的結(jié)構(gòu)創(chuàng)新設(shè)計,該結(jié)構(gòu)的水平固有頻率相對于常規(guī)氣浮平臺較低,該支撐在水平方向有很好的隔振效果和承載能力。關(guān)鍵氣動執(zhí)行元件均采用德國FEST0產(chǎn)品,靜音空氣壓縮機氣源、噪聲低。

? 阻尼結(jié)構(gòu)工作臺板,可消除表面共振
? 臺板可選
? 完全密封孔
? 自動調(diào)平
? 利用單擺原理得到更低的水平方向固有頻率


標(biāo)準(zhǔn)尺寸: 

臺板規(guī)格

臺板尺寸(mm)

固有頻率

高度(m)

載荷(KG)  

009006

900×600

垂直:2.0Hz  水平:1.5Hz

0.8

<135

010008

1000×800

垂直:2.0Hz  水平:1.5Hz

0.8

<200

012009

1200×900

垂直:2.0Hz  水平:1.5Hz

0.8

<270

015010

1500×1000

垂直:2.0Hz  水平:1.5Hz

0.8

<375

018010

1800×1000

垂直:1.8Hz  水平:1.0Hz

0.8

<450

020010

2000×1000

垂直:1.8Hz  水平:1.0Hz

0.8

<500

012012

1200×1200

垂直:2.0Hz  水平:1.5Hz

0.8

<360

015012

1500×1200

垂直:2.0Hz  水平:1.5Hz

0.8

<450

018012

1800×1200

垂直:1.8Hz  水平:1.0Hz

0.8

<540

020012

2000×1200

垂直:1.8Hz  水平:1.0Hz

0.8

<600

024012

2400×1200

垂直:1.5Hz  水平:1.0Hz

0.8

<720

030012

3000×1200

垂直:1.5Hz  水平:1.0Hz

0.8

<900

035012

3500×1200

垂直:1.5Hz  水平:1.0Hz

0.8

<1050

040012

4000×1200

垂直:1.2Hz  水平:1.0Hz

0.8

<1200

050012

5000×1200

垂直:1.2Hz  水平:1.0Hz

0.8

<1500

060012

6000×1200

垂直:1.2Hz  水平:1.0Hz

0.8

<2000

015015

1500×1500

垂直:1.8Hz  水平:1.0Hz

0.8

<560

018015

1800×1500

垂直:1.5Hz  水平:1.0Hz

0.8

<675

020015

2000×1500

垂直:1.5Hz  水平:1.0Hz

0.8

<750

024015

2400×1500

垂直:1.5Hz  水平:1.0Hz

0.8

<900

030015

3000×1500

垂直:1.5Hz  水平:1.0Hz

0.8

<1125

035015

3500×1500

垂直:1.5Hz  水平:1.0Hz

0.8

<1300

040015

4000×1500

垂直:1.2Hz  水平:1.0Hz

0.8

<1500

050015

5000×1500

垂直:1.0Hz  水平:1.0Hz

0.8

<1875

060015

6000×1500

垂直:1.0Hz  水平:1.0Hz

0.8

<2250

024018

2400×1800

垂直:1.5Hz  水平:1.0Hz

0.8

<1080

030018

3000×1800

垂直:1.5Hz  水平:1.0Hz

0.8

<1350

035018

3500×1800

垂直:1.5Hz  水平:1.0Hz

0.8

<1575

040018

4000×1800

垂直:1.2Hz  水平:1.0Hz

0.8

<1800

050018

5000×1800

垂直:1.0Hz  水平:1.0Hz

0.8

<2250

060018

6000×1800

垂直:1.0Hz  水平:1.0Hz

0.8

<2700

030020

3000×2000

垂直:1.2Hz  水平:1.0Hz

0.8

<1500

035020

3500×2000

垂直:1.2Hz  水平:1.0Hz

0.8

<1750

040020

4000×2000

垂直:1.0Hz  水平:1.0Hz

0.8

<2000

050020

5000×2000

垂直:1.0Hz  水平:1.0Hz

0.8

<2500

060020

6000×2000

垂直:1.0Hz  水平:1.0Hz

0.8

<3000



性能指標(biāo):

固有頻率

垂直:1.0~2.0Hz    水平:1.0~1.5Hz

隔振方式

空氣彈簧   擺桿隔振

調(diào)平方式

自動調(diào)平

阻尼方式

多小孔空氣阻尼

平臺高度

800mm

工作壓力

0.2~0.4MPa

空氣源

靜音空氣壓縮機  <50dB

隔振效率

垂直:5Hz時:86~92% ;10Hz時:90~95%

水平:5Hz時:88~94% ;10Hz時:92~98%

重復(fù)定位精度

±0.1mm

臺板平面度

≤0.05mm/m2

臺板粗糙度

≤0.8μm,表面亞光處理

調(diào)節(jié)高度

±10mm

應(yīng)用領(lǐng)域:

 顯微鏡、醫(yī)療生物

 光路測試、光學(xué)測量

 激光掃描、激光干涉

 光譜實驗、精密檢測

 集成電子

 對振動要求非常高的儀器設(shè)備