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108Auto 高真空鍍膜儀

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108 Auto是一款結(jié)構(gòu)緊湊的桌上型鍍膜系統(tǒng)，特別適用于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜。
主要特性
一、自動的換氣與泄氣功能，可以得到一致的膜厚，和導(dǎo)電噴鍍效果。
二、通過高效低壓直流磁控頭進行冷態(tài)精細的噴鍍過程，避免樣品表面受損。
三、操作容易快捷，可全自動或手動進行噴鍍操作，控制的參數(shù)包括自動放氣以及氬氣換氣控制。
四、在自動模式下，可通過兩種方式進行控制鍍膜過程。可通過數(shù)字顯示器控制得到可重現(xiàn)的噴鍍效果，
五、通過使用MTM-20高分辨膜厚控制儀（選件）在達到設(shè)定膜厚時停止噴鍍過程。
六、數(shù)字化的噴鍍電流控制不受樣品室內(nèi)氬氣壓力影響，可得到一致的鍍膜速率和鍍膜效果。
可使用多種金屬靶材：Au， Au/Pd,，Pt,，Pt/Pd（Au靶為標(biāo)配），靶材更換快速方便。

技術(shù)參數(shù)

濺射系統(tǒng)

樣品室大小

直徑120mm x 120mm 高

靶材

標(biāo)配Au ,可選配 Au:Pd, Pt, Pt:Pd等;大?。褐睆?7mm x 0.1mm厚

樣品臺

可以裝載12個SEM樣品座，高度可調(diào)范圍為65mm?？蛇x配旋轉(zhuǎn)傾斜樣品臺，

旋轉(zhuǎn)速度：0~120rpm可調(diào)，傾斜角度：0~90°可調(diào)。旋轉(zhuǎn)樣品臺具有單獨腔體保護，可防污染。

濺射控制

微處理器控制，安全互鎖，可調(diào)，電流10、20、30、40mA，程序化數(shù)字控制

濺射頭

低電壓平面磁控管，靶材更換快速，環(huán)繞暗區(qū)護罩

計量

atm~1*10-3mba   / 0~50mA

厚度監(jiān)控(選件)

使用MTM-20高分辨厚度控制儀（選件）自動終止濺射過程.

控制方法

自動氣體換氣和泄氣功能，自動處理排序，帶有“暫?！笨刂频臄?shù)字定時器（5－300s），自動放氣.整個操作亦可全手動控制。

真空系統(tǒng)

真空泵

原裝進口2級直連式高速真空泵

抽氣速率

100L/MIN

噪音

50dB

真空

≤1   x 10-3 Torr


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