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VTC-100PA真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)

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VTC-100PA真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)適用于半導(dǎo)體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機(jī)可用于強(qiáng)酸、強(qiáng)堿性涂覆溶液的涂膜制備。


主要特點

1、真空吸附方式固定樣件，操作簡便。

2、使用定位工具可將樣件很容易地放在中心位置，以減少偏心而造成的震動或飛片。

3、根據(jù)樣件規(guī)格可以配用不同的吸盤，且更換方便簡單。

4、設(shè)有12組程序，每組包含6個運(yùn)行階段。

5、電機(jī)啟動快速穩(wěn)定，可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。


技術(shù)參數(shù)


1、電機(jī)功率：50W/24V

2、速度范圍：500-10000rpm

3、程序運(yùn)行：可儲存12組程序，每組程序包含6個運(yùn)行階段

4、增減速率設(shè)置范圍：100rpm/s-2000rpm/s

5、時間范圍：0-60s

6、吸盤：Φ19mm、Φ60mm

7、本機(jī)可選配加熱功能

1）加溫范圍：室溫——150℃

2）加熱蓋，水槽及吸盤采用耐高溫材質(zhì)聚四氟

3）溫度單獨控制，與主機(jī)程序控制無關(guān)聯(lián)


產(chǎn)品規(guī)格

尺寸：450mm×280mm×340mm

重量：20kg


標(biāo)準(zhǔn)配件

1、真空吸盤（含O型圈）

2、中心定位器（含4個定位柱）

3、滴膠注射器（20ml）

4、注射器支架

5、無油真空泵

6、橡膠管（含卡箍）


可選配件

過濾器（真空泵用）