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日立 S-3700N掃描電子顯微鏡

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
掃描電子顯微鏡(SEM)現(xiàn)今已經(jīng)延伸到廣大企業(yè)單位，不僅在學(xué)術(shù)研究領(lǐng)域，各行各業(yè)均有廣泛應(yīng)用，與此趨勢(shì)相對(duì)應(yīng)，用戶需要觀測(cè)和分析的樣品種類也有所擴(kuò)大。S-3700N的開發(fā)正是完全考慮了上述廣泛的多元化應(yīng)用的需求，此款產(chǎn)品的標(biāo)準(zhǔn)配置包含一個(gè)二次電子檢測(cè)器，一個(gè)五段分割背散射電子(BSE)探測(cè)器和可變壓力(VP)模式。
這就使得絕大部分的樣品觀測(cè)，可以去除過去傳統(tǒng)的掃描電鏡的金屬噴涂，可在自然狀態(tài)下直接觀察含水樣品。
S-3700N有一個(gè)巨大的樣品室，可容納直徑達(dá)300 mm和高度達(dá)110 mm的樣品。樣品室設(shè)置有多種配件端口，可以適應(yīng)電鏡在當(dāng)今廣泛的應(yīng)用需求，這些配件包EDX，WDX，EBSD，樣品室監(jiān)視裝置，冷臺(tái)等。此款產(chǎn)品的多功能性以及靈活的系統(tǒng)配置。
產(chǎn)品特點(diǎn)
 大型的樣品室可裝載max直徑達(dá)300 mm的樣品，還可同時(shí)安裝EDX/WDX/EBSD等配件。其可載樣品高度可達(dá)110 mm。
5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)優(yōu)中心傾斜、旋轉(zhuǎn)、圖像導(dǎo)航系統(tǒng)、樣品臺(tái)追蹤、軌跡存儲(chǔ)與中心復(fù)位等樣品臺(tái)的馬達(dá)控制功能一應(yīng)俱全。
S-4800，SU-70及S-3400N均具有用戶友好的GUI設(shè)計(jì)，這使得操作者經(jīng)過簡(jiǎn)單培訓(xùn)即可操作。
顯示系統(tǒng)有全屏顯示，無閃爍，高像素和實(shí)時(shí)圖像顯示等優(yōu)異的性能，它還可以實(shí)時(shí)信號(hào)混合并同時(shí)顯示兩個(gè)不同的檢測(cè)器觀測(cè)到的互不相同的樣品信息。
可變壓模式不需要金屬噴涂，可以直接觀察不導(dǎo)電樣品。
高靈敏度半導(dǎo)體背散射電子檢測(cè)器可以在快速掃描模式下運(yùn)行，這使得尋找大尺寸樣品中感興趣的區(qū)域更為簡(jiǎn)單和便利。
標(biāo)準(zhǔn)配備渦輪分子泵(TMP)，其清潔和干燥的真空條件很大限度地減少了樣品污染。區(qū)別于傳統(tǒng)的擴(kuò)散泵掃描電子顯微鏡，此款產(chǎn)品不需較大的加熱功率或循環(huán)水箱，從而使得它成為一款節(jié)能，生態(tài)環(huán)保的掃描電子顯微鏡。
項(xiàng)目 描述
分辨率 二次電子分辨率 30 kV時(shí)，3.0 nm(高真空模式)
3 kV時(shí)，10 nm(高真空模式)
背散射電子分辨率 30 kV時(shí)，4.0 nm(低真空模式)
放大倍率 ×5 - ×300,000
加速電壓 0.3 - 30 kV
低真空范圍 6 – 270 Pa 圖形菜單
圖像移動(dòng) ±50 μm (WD= 10 mm)
max樣品尺寸 Φ300 mm
樣品臺(tái) X 150 mm
Y 110 mm
Z 5 - 65 mm
R 360°
T -20° - 90°
觀測(cè)區(qū)域 Φ203 mm(可旋轉(zhuǎn))
max高度 110 mm (WD= 10 mm)
樣品臺(tái)控制 計(jì)算機(jī)控制5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)優(yōu)中心
電子光學(xué) 電子槍 預(yù)對(duì)中鎢燈絲
物鏡光闌 可移動(dòng)式4孔物鏡光闌
槍偏壓 帶可控4偏壓
檢測(cè)器 埃弗哈特 索恩利二次電子檢測(cè)器
高靈敏度半導(dǎo)體背散射電子探測(cè)器，五分割
分析位置 WD = 10 mm, 取出角 = 35°
顯示器 控制模式 操縱桿，鍵盤和旋鈕
顯示器 19.1英寸液晶平面顯示器(如有更改，恕不另行通知)
自動(dòng)合軸 自動(dòng)設(shè)定束流，自動(dòng)合軸
自動(dòng)圖像調(diào)整 自動(dòng)聚焦，自動(dòng)消象散/聚焦，自動(dòng)調(diào)整亮度和對(duì)比度
存儲(chǔ)圖像精度 640 × 480 像素, 1,280 × 960 像素
2,560 × 1,920 像素, 5,120 × 3,840 像素
圖像文件格式 BMP, TIFF, JPEG
圖像顯示模式 全屏顯示：1,280 × 960 像素
小屏顯示：640 × 480 像素
雙屏顯示：640 × 480 像素 × 2
信號(hào)混合模式
真空系統(tǒng) 操作 全自動(dòng)程序
渦輪分子泵 210L/sec. × 1
機(jī)械泵 135 L/min.(162 L/min. 60Hz) × 1
安全措施 斷電保護(hù)，漏電保護(hù)
輔助功能 光柵旋轉(zhuǎn)，動(dòng)態(tài)消像散
動(dòng)態(tài)聚焦/傾斜補(bǔ)償功能
自由排版打印功能，字母/數(shù)字功能
三維動(dòng)畫維修指南
導(dǎo)航，測(cè)量方便，傾斜畫面

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